המעבדה למיקרו מערכות

ראש המעבדה: פרופ' דוד אילתה
מיקום: בנין ליידי דייויס, קומה 4
טלפון: +972-4-829-3184

מיקרומערכות הן מערכות זעירות המורכבות מאלמנטים מבניים שגודלם נמדד במיקרונים. במעבדה שלנו אנחנו חוקרים בעיקר מערכות שבנויות מסיליקון. מאחר והשימוש בצירים ומחליקים אינו מעשי בסקלת המיקרו, תנועה יחסית בין חלקים שונים במערכת מתאפשרת על ידי חיבורם יחד בגמישונים (קורות גמישות). גמישונים אלה מאפשרים תנועה בכיוון מועדף וגם משמשים כקפיצים. כל מיקרומערכת ‘מפוסלת’ מתוך מצע של גביש יחיד של סיליקון. תהליך היצור מבוצע בעזרת איכול כימי ופיזי באותה טכנולוגיה שמשמשת ליצור מיקרואלקטרוניקה.

בכדי להניע חלקים שונים אנו משתמשים במנועים אלקטרוסטטים, תרמואלסטיים, פייזואלקטריים, ואלקטרומגנטיים. הפיסיקה השולטת במיקרומערכות היא אותה פיסיקה של מערכות גדולות, אך בסקלת המיקרו אפקטים שונים נהיים דומיננטיים. כך למשל, שקיעה של רכיבים עקב משקלם זניחה לחלוטין, מבנים העשויים מסיליקון חזקים בהרבה ביחס לחוזקם לו היו עשויים מפלדה, כוחות אלקטרוסטטים (לא אלקטרומגנטיים) חזקים דיים בכדי להניע חלקים.

במעבדה שלנו אנחנו חוקרים תופעות שונות בסקלת המיקרו וממציאים ומפתחים התקנים חדשניים.